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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

作者:张新宇,谢长生 出版社:国防工业
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  • 包装:平装
  • 出版社:国防工业
  • ISBN:9787118122848
  • 作者:张新宇,谢长生
  • 页数:211
  • 印刷日期:2021-10-18
  • 开本:16开
  • 版次:1
  • 印次:1
  • 字数:265千字